仕様1)
| 型名 |
NanoFlux
N2k-10-SLM |
NanoFlux
N5k-10-SLM |
NanoFlux
N10k-10-SLM |
| パルスエネルギー |
| 1064 nm |
2000 mJ |
5000 mJ |
10000 mJ |
| 532 nm2)3) |
1000 mJ |
2500 mJ |
5000 mJ |
| 355 nm2) |
450 mJ |
1300 mJ |
2500 mJ |
| 266 nm2) |
140 mJ |
750 mJ |
1500 mJ |
| 繰返し周波数 |
10 Hz |
| パルス幅4) |
2 ± 0.5 ns |
| エネルギー安定度5) |
| 1064 nm |
≤ 0.8 % |
| 532 nm |
≤ 1.5 % |
| 355 nm |
≤ 3 % |
| 266 nm |
≤ 4 % |
長時間
出力ドリフト6) |
≤ 2 % |
ビーム
プロファイル7) |
スーパーガウシアン |
| M²値8) |
4.4 |
6.6 |
9.2 |
| ビーム径9) |
〜 12 mm |
〜 18 mm |
〜 25 mm |
ビーム位置
安定度10) |
≤ 25 µrad |
| ビーム拡がり角 |
≤ 0.5 mrad |
光学
パルスジッター11) |
≤ 0.2 ns |
| 線幅 |
≤ 0.01 cm⁻¹ (SLM) |
| 偏光 |
直線、> 90 % |
| ⼨法12) |
| レーザーヘッド |
455 x 1220 x 270 mm |
600 x 1500 x 300 mm |
700 x 2000 x 300 mm |
| 電源 |
550 x 600 x 1030 mm |
550 x 600 x 1030 mm 2units |
550 x 600 x 1030 mm 2units |
アンビリカル
ケーブル⻑13) |
5 m |
| ユーティリティ14) |
| 要求電源15) |
208,380 or 400 V AC、3相、50 / 60 Hz |
| 消費電⼒16) |
≤ 5 kVA |
≤ 6 kVA |
≤8 kVA |
| 冷却⽔要求16) |
≤5l / min,
2 bar,
max 15 ℃ |
≤7l / min,
2 bar,
max 15 ℃ |
≤10l / min,
2 bar,
max 15 ℃ |
使⽤中の
環境温度 |
22 ± 2 ℃ |
| 環境温度 |
15 〜 35℃ |
| 環境湿度 |
≤ 80 % |
| 使⽤環境クラス |
ISO Class7 |
1)仕様は予告なく変更になる場合がございます。何卒ご了いただけますようよろしくお願い申し上げます。仕様につきましての保証値が必要になる場合、指定値がある場合にはカスタマイズに応じることも可能です。1064 nm時における値となりますことご了承願います。
2)⾼調波発⽣機構はオプションとなります。基本波やそれぞれの⾼調波の同時出⼒はできません。
3)SHはLBO結晶にて⾏われます。変換効率は70 %まで増加できます。TH/FHオプションはSHより50 %エネルギー減少します。
4)パルス幅は2 nsが標準です。2 〜 25 nsまでカスタマイズ可能です。エネルギーはパルス幅に変更にともない変わります。
5)安定した環境における60秒間のRMS値です。
6)周辺環境2 ℃以下の変動で、30分暖機後に8時間に渡り測定しました。
7)ニアフィールドにおける6 〜 11次の空間モードです
8)計算的に求められました。実測値は多少異なります。
9)ガウシアンビームの1/e2時、スーパーガウシアンのFWHM の値です。
10)集光光学系のフォーカルプレーンにおける測定です。
11)Trig out > 3.5 V @ 50 Ω
12)設置スペースや特注により多少のサイズ変更は可能です。
13)10 mまで対応可能です。
14)堅牢な作業台の上に設置し、空調設備の空気⼝から離れた場所に設置してください。
15)電圧変動は10 〜 15 %としてください。
16)システムによって変わってきますので、ご注意ください。