製品概要
- ・Enviro METROS LAB：サンプルサイズ最大80×80mm対応
- ・Enviro METROS FAB：8インチ、12インチウェハ対応
“Envio METROS”は、これまでのX線光電子分光装置の常識を打ち破る画期的な製品です。
圧力環境を超高真空から準大気圧(オプション)まで変化させることにより、これまでは不可能であった生体サンプルや固液、気固界面でのオペランド計測が可能となります。また、準大気圧環境で使用可能なUPS光源やIRRAS、SEMなどのバラエティ豊かなオプションにより、様々な測定をこの1台で行うことが可能です。
特長
- 幅広い圧力範囲：UHV～NAP（5000 Pa）まで対応
- サンプル搬送から測定まで全自動
- マルチカラーX線源（Al, Ag, Cr）
- 取込角：±30°
- 深さ分析
- 8、12インチウエハをそのまま測定
- 豊富なオプション (Raman、IRRAS、SEM、IPES)
- ユーザーフレンドリーな専用ソフトウェア
