Water Vapor Desorption

製品概要

RBD 社のWater Vapor Desorption製品群は、IR光またはUV光を⽤いたベーキング⽤ヒーターです。本製品を使⽤することで真空引き時間の短縮や到達真空度の向上が可能です。

アプリケーション

• 真空チャンバーの脱ガス処理
• 真空ベーク処理

ラインナップ

VBシリーズ

controller

emitter

VBシリーズは、⾼出⼒⾚外線放射により、真空チャンバーを内側から加熱し、真空チャンバーから⽔蒸気を効果的に脱離させます。
→ マニュアルはコチラよりご確認いただけます

• 低出⼒タイプ（VB-1） : 出⼒120 VAC
• 高出⼒タイプ（VB-2） : 出⼒230 VAC

UVB-100

controller

lamp

UVB-100は、UVC放射を使⽤して、熱を伴わずに⽔蒸気を脱着します。Oリングや熱に弱い光学部品などを使⽤している場合に効果を発揮します。
→ データシートはコチラよりご確認いただけます

mini-Z

mini-Z

mini-Zは、ミニALDチャンバー、圧⼒セル、ロードロックなどのコンパクトな真空チャンバーでの真空引き時間の短縮と真空度の改善に最適です。
→ データシートはコチラよりご確認いただけます