製品概要
ドイツSPECS社製のFE-LEEM/PEEM P90シリーズは、低エネルギー電子を照射し反射電子像を得るLEEMモードと、光を照射し光電子像を得るPEEMモードを選択可能な電子顕微鏡です。90°ディフレクタを用い、LEEMモードで高空間分解能5nmを実現しました。オプションの球面収差補正機能を追加することで、空間分解能は3nm（標準値、最高到達分解能1.6nm）に向上し、 スループットも従来に比べ8倍アップします。高輝度・低エネルギー分散 FE-電子銃を用いる事で、高いエネルギー分解能測定を実現します。
特長
- コンパクト、オールインワン設計
- 高分解能 保証値3nm、最高到達分解能1.6nm（LEEM、球面収差補正機能追加モデル）
- 高輝度、低エネルギー分散 FE-電子銃（半値幅300meV）
- 球面収差補正機能（オプション）
- 高精度5軸ピエゾ試料ステージ
- 高い拡張性
測定モード
- LEEM像（反射コントラスト、フェーズコントラスト）
- ミラー電子顕微鏡像
- LEED像、マイクロLEED像
- ARPES像
- EELS像
- PEEM像
- XMCD-PEEM像
