製品概要
複屈折位相差測定装置Exicor® PV-Siは、シリコン、サファイア、炭化けい素、セレン化亜鉛、硫化カドミウムなどの複屈折分布を波長1550nmの赤外光で測定します。 モデル”500-Si-Ingot”は、シリコンウェーハに切断する前のインゴット(8インチ、500mm長)に対応します。
主な仕様
- 測定波長：1550nm
- リタデーション繰り返し測定精度：0.1nm
- 測定スポットサイズ：2ミリ径
- 測定時間：最大100点/秒
- インゴットサイズ：500×150mm (Squared ingot)、500×210mm (As-grown ingot)
主な特長
- シリコン、サファイア、炭化けい素、セレン化亜鉛、硫化カドミウムの歪み検査
- インゴットのまま測定 (Squared、As grown ingots)
