微量水分測定装置 Spark H₂O

製品概要

TigerOptics社のSpark H₂Oは、キャビティリングダウン分光法(CRDS)によりサンプルガス中のH₂O分子濃度の超高感度測定を行うガス分析装置です。

従来の露点計などの水分測定法に比べ、標準ガスによる較正が不要で、精度・信頼性が高く、応答速度が早い等のメリットがあります。装置はワンボックス型で可搬性にも優れています。

用途

• 極微量水分濃度の計測・管理
• 半導体等製造工程中のガスモニタリング
• 湿度計測・湿度標準の研究開発

特長

• NIST準拠
• 高速応答・高感度・高精度・高信頼性
• 簡単操作・メンテナンスフリー
• コンパクトなワンボックス型
• 水分濃度（露点）計測に特化したローコストモデル
• 広い測定濃度範囲（N₂ガス中のH₂O濃度：15ppb～2000ppm）
• イーサネット・絶縁4mA-20mA出力・RS-232対応

キャビティリングダウン分光法 （Cavity Ring-Down Spectroscopy; CRDS）

レーザーダイオードからのレーザー光を、一対の高反射率ミラーを持つリングダウンキャビティセル内に入射します（図1）。

キャビティセルを透過する光強度を後方にあるフォトダイオードによって検出し、レーザー光の入射を遮断してからの光強度の減衰時間を測定します（図2）。

この減衰時間は、ミラーの反射率とキャビティセル内に存在するガス分子の吸収によって決まります。計測対象のガス分子の吸収ラインにレーザー波長を合わせて減衰時間を測定することにより、キャビティセル内にある計測対象のガス分子の濃度を求めることが出来ます。

図1. リングダウンキャビティセル

図2. ミラー反射とガス分子の吸収によるレーザー光量の減衰