製品概要
PPM100型RGA用分圧ガスモニターはスタンドアローンタイプのRGA残留ガス分析計のコントローラーです。
RGAのほか最大4台までのキャパシタンスマノメータを接続して真空中のガスの分圧測定ができます。このコントローラーには大型のタッチパネル式LCDスクリーンを搭載し、モニターしているガスの圧力変化やマススペクトルなどをグラフィカルに表示することができます。
特長
- スタンドアローンタイプのRGAコントローラー
- 8チャンネルプロセス制御
- 圧力の時間変化表示
- 4系統アナログ入出力
- RS232, GPIB及び USBインターフェイス
- Web対応可能
用途
- RGAシリーズの制御及びモニタリング
- プロセス管理、リークチェック
