高精度薄型ピエゾステージ
メーカー名
PIEZOCONCEPT
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PIEZOCONCEPTの薄型3軸ピエゾステージは、あらゆる倒立型顕微鏡との組み合わせを考慮して設計されております。BIO3は開口部が広く、顕微鏡用のスライドガラスを開口部内に設置可能です。粗動用のマイクロステージ(ステージストローク：25mmx25mm)と組み合わせたハイブリッドステージのラインナップもございます。各ステージに対応した多数のアクセサリーも取り揃えております。 標準仕様品のステージ本体はアルミニウム製ですが、100µmモデルには温度変化に対しより安定なインバー製のラインナップもございます。
| BIO3/LT3.100 | BIO3/LT3.200 | BIO3/LT3.300 | |
|---|---|---|---|
| XYZ ストローク |
100μm | 200μm | 300μm |
| XYZ 分解能 |
0.1nm | 0.2nm | 0.3nm |
| XYZ ノイズレベル |
0.01nm | 0.02nm | 0.03nm |
| XYZ 位置再現性 |
0.2nm | 0.4nm | 0.6nm |
| リニアリティ (典型値) |
0.02% | 0.02% | 0.02% |
| 共振周波数 X, Y, Z |
500Hz, 400Hz, 400Hz | 400Hz, 350Hz, 300Hz | 300Hz, 250Hz, 250Hz |
| 剛性 X, Y, Z |
0.6N/μm, 0.5N/μm, 0.5N/μm |
0.5N/μm, 0.4N/μm, 0.4N/μm |
0.4N/μm, 0.3N/μm, 0.3N/μm |
| 耐荷重 -横向き使用時 |
1kg | 1kg | 1kg |
| 耐荷重 -縦向き使用時 |
0.5kg | 0.5kg | 0.5kg |
| センサー | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor |
| BIO3 サイズ W×L×H |
152.5×213×20.45mm | 152.5×213×20.45mm | 152.5×213×20.45mm |
| LT3 サイズ W×L×H |
152.5×193×20.70mm | 152.5×193×20.70mm | 152.5×193×20.70mm |
| 本体素材 | Al または Invar | Al | Al |
| ケーブル長 | 2m | 2m | 2m |
| 適応 コントローラー |
Standard | Standard | Standard |
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