環境制御型ケルビンプローブシステム(RHCシリーズ)

FAQ

• 他の仕事関数測定手法であるUPS等と比較して、ケルビンプローブの特長は？
  

  大気中で簡便に測定可能な点です。粉体も測定できます。
  

• 大気中ではなく、真空中で測定しないと仕事関数測定は意味がないのでは？
  

  アプリケーションによります。仕事関数は材料の最表面の状態に大きく依存するため、大気中で使用する材料に関しては大気中での測定データが有用です。
  なお、オプションの真空用ヘッドもあり、真空中の測定にも対応可能です。

• 伝統的なケルビンプローブ法と、本装置で採用しているBaikie法 (Off-Null法)との違いとメリットは何ですか？
  

  伝統的な手法では、プローブからの信号がゼロになるようなバイアス電圧を求め、この電圧から仕事関数が得られます。一方Baikie法では、バイアス電圧を走査することによってバイアス電圧と信号電圧がバランスする電圧を得るため、電圧の小さな信号を測定する必要がなく、測定環境やノイズの影響を受けずにより素早く正確に仕事関数を測定することが出来ます。
  

• SPMのオプションでケルビンプローブもありますが、違いは何ですか？
  

  大きな違いはステージの走査範囲です。SPMの走査範囲は100um程度ですが、本装置の標準走査範囲は50x50mmで、試料サイズと同スケールでのマッピングが可能です。
  

• 空間分解能はどれくらいですか？
  

  プローブのチップサイズ径程度になります。標準チップは2 mm、オプションチップの最小サイズは50umです。ケルビンプローブの信号電圧の強さはチップサイズに依存するため、試料によっては小さいチップでは測定精度が低下する場合があります。
  

• ケルビンプローブシステムで、試料のトポグラフィー像を取得することはできますか？
  

  できます。通常、マッピング中にチップと試料間の距離を一定に保っているため、その
  制御信号からトポグラフィー像を構築することができます。ただし、空間分解能はプローブのチップサイズに依存します。
  

• ステージ付属の走査型モデルではなく、ステージが付属しない点測定のモデルはありますか？
  

  あります。
  

• 点測定のモデルから、後日、ステージを追加して走査型モデルへアップグレードはできますか？
  

  できます。
  

• ケルビンプローブシステムと有機EL電子状態評価システムの違いは何ですか？
  

  ケルビンプローブは仕事関数の相対値を求めるのに対し、有機EL電子状態評価システムは仕事関数の絶対値や、試料の状態密度を求めることが可能です。
  

• ケルビンプローブシステムから、有機EL電子状態評価システムにアップグレードすることはできますか？
  

  できます。
  

• どのような設置環境が必要ですか？
  

  丈夫な机か光学定盤の準備をお願いいたします。
  また、下記のような場所の近くには設置しないようにお願いいたします。
  ・高電圧源や機械的振動源。
  ・湿度が大きく変化する可能性のある、ドアやエアコン出口、窓。
  ・ほこりっぽい場所。