新製品情報のお知らせ
- シリーズ最小モデル登場！より軽量な装置にも対応した『SotoTT20』『 ArisTT20』
- 従来モデルの3倍のストローク！より大きな振幅にも対応した除振台『ArisMDPRO』
- ご要望の多かった架台付き除振システムも登場！様々な素材・サイズの架台をご提供します。
詳細は『K&S最新号カタログ ‘21.1.21(英語)』をご参照ください。
アクティブ除振台 御見積 依頼フォーム
お客様情報や御見積ご依頼内容など、必要事項をご記入の上、
PDFを保存、メールまたはFAXにて送信してください。
・メールアドレス：tiiweb@tokyoinst.co.jp
・FAX番号：03-3686-4711
アクティブ除振台 製品概要
K&S Adcvanced Systems 社が開発したアクティブ除振台は、リニアモーターを使用した6自由度アクティブ除振層とパッシブ除振層を組み合わせた、独自開発のダンパー構造を搭載することにより高い除振性能を発揮する、革新的な除振台です。
またリニアモーターを使用しているため、長ストロークの振動にも対応し、耐久性も備えております。
除振台内部にオシロスコープとスペクトルアナライザを搭載しており、振動状況をリアルタイムでモニタリングしながら、カスタム調整を行うことも可能です。
アクティブ除振台 特長
- リニアモーター搭載：軽量化＆超ロングアクチュエータストロークを実現
- 6自由度アクティブ制御(AIによる自動調整機能)
- 除振範囲：0.5～100Hz
- 内蔵オシロスコープで振動レベルをリアルタイムモニタリング
- 内蔵スペクトルアナライザで周波数、振動速度、加速度をリアルタイムモニタリング
- ワークステーション環境にシームレスで組込み
- 立ち上げ後の再チューニング不要
- カスタマイズ可能
- モジュラータイプは制御台数無制限
アクティブ除振台ラインナップ
卓上型SEMやTEMなどの卓上タイプの電子顕微鏡に最適です。設置は電子顕微鏡の下に敷くだけで完了します。ソフトウェアでセットアップを行えばすぐにご使用いただけます。他の機器や環境からの振動を除振し、より鮮明な観察像が得られます。
従来は大掛かりな工事が必要とされていた、大型のSEM、TEM、SPM、AFMといった顕微鏡や半導体製造装置のような設備に、工事を必要とせず、後付けで設置できます。設置台数に制限はなく、数トンクラスの装置にも対応します。
アクティブ除振台の効果 電子顕微鏡画像の比較
アクティブ除振台によって、像の輪郭がはっきり観察できるようになります。
アクティブ除振台 未使用
アクティブ除振台 使用
オシロスコープ・スペクトルアナライザによるモニタリング
内蔵されたオシロスコープ・スペクトルアナライザによって振動の状況や、除振の状態をリアルタイムでモニタリングすることが可能です。
このデータを元に、リアルタイムで除振性能を調整できます。
スペクトルアナライザモード
