高純度オゾン供給、完全自動制御、低ランニングコスト、安全運転
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DCA Instruments
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DCA Instruments社のオゾン供給システム（ODS）は、MBE成膜システムに⾼純度オゾンを⽣成・収集・貯蔵・供給するために設計された、⾃動運転対応の⾼性能ユニットです。DCA Oxide Systemシリーズの中核機器として10年以上の運⽤実績を誇り、複雑な酸化物薄膜の成⻑に貢献しています。わずか1時間の蒸留で、最⼤10時間分の成膜プロセスに必要なオゾンを収集可能です。⽔冷式UHVチャンバーインジェクターを通じて、純粋なオゾンの供給が可能で、⽤途に応じた柔軟な運⽤が⾏えます。オゾンの収集状況は、シリカゲルの紫⾊変化を監視するカメラにより視認できます。ODSは、省スペース性と⾼い操作性を両⽴したクローズドサイクル設計を採⽤しており、⾼頻度での使⽤や冷媒供給の制約がある研究環境にも最適です。また本システムには、真空装置への直接注⼊に必要なすべての構成部品が含まれており、導⼊後すぐに運⽤を開始できます。
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| オゾンリザーバー | 正味容量 130cm³（約58 gのO₃に相当） クローズトサイクルヘリウム冷凍機 抵抗ヒーターおよびPt-100温度センサー付き |
| オゾンガス供給方法 | 冷却リザーバーの加熱制御による放出 1時間のオゾン収集で最大10時間のMBE成膜が可能 |
| 制御モード | 3種類のPID制御ループ ・温度制御（アイドル、収集、起動時） ・圧力制御（供給時） ・流量制御 セーフモード |
| 操作方式 | タッチスクリーン操作 / Ethernetによる遠隔制御 |
| 監視システム | カメラによる監視 コンディショントラッキング センサーによる故障検知 |
| ポンプ | ドライスクロールポンプ |
| 構造 / 安全機構 | アルミ製耐爆カバー付き筐体 インターロック機能 過剰オゾンの自動分解機構 |
| 外形寸法 | ODS本体 : 135 × 85 × 70 cm 冷凍機コンプレッサー : 50 × 55 × 45 cm |
| 重量 | ODS本体 : 255 kg 冷凍機コンプレッサー : 84 kg |
| 電源 | ODS本体：208 / 230V、6A 冷凍機コンプレッサー：208 V, 60 Hz, 16 A または230 V, 50 Hz, 13 A（始動電流58 A） |
| ガス供給 | 圧縮空気 : 6 bar（90 psi） 酸素 : 1.5 bar（22 psi） |
| 水冷要件 | インジェクター : 2 L/min @ 2 bar（30 psi） 冷凍機コンプレッサー : 2.7 L/min @ 2 bar（30 psi） |
| オゾンインジェクター | 水冷CF38インジェクター、CF16の全金属UHVシャットオフバルブ付き |
| オゾン流量調整 | 全金属製メータリングバルブ（PID制御圧力バルブ） |
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