製品概要
DCA Instruments社は、超⾼真空（UHV）技術を基盤とした⾼性能MBE（分⼦線エピタキシー）成膜システムのリーディングカンパニーです。同社のMBE装置は、酸化物材料、⾦属材料、III-V族化合物など、幅広い材料系に対応し、研究からパイロット⽣産まで多様な⽤途に対応可能です。DCAのMBEシリーズは、⾼い拡張性と柔軟性を備えたモジュール設計が特徴で、電⼦ビーム蒸発源、effusionセル、RFプラズマ源、⾦属有機ガス注⼊源（MOPI）などの多様なソースに対応。加えて、RHEED観察、残留ガス分析、ビームフラックスモニターといったインライン診断機能を装備する事で、リアルタイムのプロセス制御を実現します。
代表的なシリーズには、⾦属・酸化物のハイブリッド成膜に対応する「Mシリーズ」、III-V族材料に特化した量産対応の「Pシリーズ」、研究開発向けのコンパクトな「Rシリーズ」などがあり、各種研究・⽣産⽤途に応じた最適な構成を選択可能です。DCA Instrumentsは世界中の⼤学・研究機関・産業界への多数の納⼊実績を誇り、常に最先端の薄膜成⻑技術をサポートしています。
